JEM-2100F透射电子显微镜主要性能参数：

电子枪：ZrO/W（100）Schottky热场发射电子枪

分辨率：点分辨率≤0.19nm、线分辨率≤0.10nm

加速电压：100，120，160，200kV

放大倍率：≥× 1000000

样品台：平移±1mm，最大倾角±25oSTEM

附件：具备明、暗场STEM和HAADF工作模式，分辨率≤0.2nm；

放大倍率≥× 500000CCD

相机：≥1100万象素

束斑漂移：<1nm/min

会聚束电子衍射：会聚角（2α）：大于1.5-20mrad；接收角±10o

样品台：普通单倾、普通双倾、铍双倾