原子力显微镜主要性能参数：

X-Y方向扫描范围：90um *90um典型值，最小85um
Z方向扫描范围：10um典型值，在成像及力曲线模式下；最小9.5um
垂直方向噪音基底：<30pmRMS, 在合适的环境及典型的成像带宽（达到625Hz）
X-Y定位噪音（闭环）：≤0.15nm RMS，典型成像带宽（达到625Hz）
X-Y定位噪音（闭环）：≤0.10nm RMS，典型成像带宽（达到625Hz）
Z传感器噪音水平（闭环）：35pm RMS, 典型成像带宽（达到625Hz）
整体线性误差（X-Y-Z）：0.5% 典型值
样品尺寸/夹具：210mm真空吸盘样品台，直径≤210mm, 厚度≤15mm
电动定位样品台（X-Y轴）：180mm*180mm可视区域；单向2um重复性；双向3um重复性。
显微镜光学系统：五百万像素数字照相机
180um至1465um可视范围
数字缩放及自动对焦功能
控制器：NanoScope V型控制器
工作台：整合所有控制器、结合人体工学设计，提供直接的物理或可视借口
震动隔绝：整体式气动减震台
声音隔绝：可隔绝环境中85 dBC的持续噪音